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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0529276(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910206300 申请日期 1991.07.23
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOSHIMIZU CHISHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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