| 发明名称 |
PHOTOLITHOGRAPHIC METHOD USING BUTYL BUTYRATE, METHOD OF REMOVING HIGH-MOLECULAR CONTAMINANT AND METHOD OF REMOVING ORGANIC MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0511440(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19920018355 |
申请日期 |
1992.01.08 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
TORERIANTO FUANGU;UIRIAMU ORUDEN GIRAN |
| 分类号 |
G03F7/004;C11D3/43;C11D7/50;G03F7/027;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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