发明名称 FILM CARRIER TAPE
摘要
申请公布号 JPH04361541(A) 申请公布日期 1992.12.15
申请号 JP19910164040 申请日期 1991.06.07
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 KIN MASAKATSU;SASAKI JUN;ISHIZUKA HIROSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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