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经营范围
发明名称
INPURITY THERMAL DIFFUSION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04352322(A)
申请公布日期
1992.12.07
申请号
JP19910126035
申请日期
1991.05.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
NAKAJIMA SHIGEMASA
分类号
H01L21/22;H01L21/223
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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