发明名称 MIXED NITRIDE LAYERS WITH AT LEAST TWO METALS AND METHOD FOR THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 GR3001890(T3) 申请公布日期 1992.11.23
申请号 GR19900401178T 申请日期 1991.05.03
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FRELLER, HELMUT;SCHACK, PETER
分类号 C23C14/06;C23C14/24;C23C30/00;(IPC1-7):C23C30/00;C23C14/02 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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