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发明名称 ILLUMINATOR AND LIGHT EXCITING PROCESSING DEVICE WITH THE SAME
摘要
申请公布号 JPH04305244(A) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 JP19910094996 申请日期 1991.04.02
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 B01J19/12;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/31 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
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