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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号
JPH04298070(A)
申请公布日期
1992.10.21
申请号
JP19910063028
申请日期
1991.03.27
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
TSUCHIDO KENJI
分类号
H01L23/50
主分类号
H01L23/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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