发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号 JPH04298070(A) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 JP19910063028 申请日期 1991.03.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TSUCHIDO KENJI
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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