| 摘要 |
<p>Zur Röntgenbestrahlung von Körperschichten wird eine Einrichtung angegeben, der als Röntgenstrahlenquelle ein als Anode geschaltetes Target (2) dient, und die einen Detektor (6) zur Messung der Intensitätsverminderung des Röntgenstrahls nach Durchdringen des Objekts (1) aufweist. Um räumliche Objektstrukturen mit hoher Präzision darstellen zu können, ist der auf das Target ausgerichtete Elektronenstrahl (3) zur Verlagerung des Target-Brennflecks (4) verstellbar, insbesondere schrittweise verstellbar. Dabei ist die Schrittweite der Brennfleckverschiebung auf dem Target derart bemessen, daß die dadurch erzeugte Röntgenstrahlverschiebung auf dem Detektor kleiner als die Flächenabmessung eines Detektorelementes (13) ist.</p> |
