发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04286156(A) 申请公布日期 1992.10.12
申请号 JP19910074719 申请日期 1991.03.14
申请人 SONY CORP 发明人 SUGIYAMA HISANOBU
分类号 H01L27/092;H01L21/8238 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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