发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04273126(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19910033307 申请日期 1991.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NUKUI KENJI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址