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发明名称 PROBE NEEDLE
摘要
申请公布号 JPH04265863(A) 申请公布日期 1992.09.22
申请号 JP19910025936 申请日期 1991.02.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INOUE AKIRA
分类号 G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
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