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发明名称 PROBER
摘要
申请公布号 JPH04241437(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910003064 申请日期 1991.01.16
申请人 NEC CORP 发明人 KIKUCHI TOSHIHIKO
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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