| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04234121(A) |
申请公布日期 |
1992.08.21 |
| 申请号 |
JP19910265519 |
申请日期 |
1991.09.18 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
RENAADO JIEI ORUMAA |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/509;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
