发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TEST EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04217337(A) 申请公布日期 1992.08.07
申请号 JP19900403383 申请日期 1990.12.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKEI TSUTOMU
分类号 G01R1/06;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
地址
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