| 发明名称 |
ALUMINIUM DRY ETCHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920005633(B1) |
申请公布日期 |
1992.07.10 |
| 申请号 |
KR19880003266 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD. |
发明人 |
NAKAMURA, MORIDAKA;GURIMOTO, DAKASHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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