发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTIVE DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH04175295(A) 申请公布日期 1992.06.23
申请号 JP19900301340 申请日期 1990.11.07
申请人 CANON INC 发明人 HIRABAYASHI KEIJI
分类号 C30B29/04;H01L21/205 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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