| 发明名称 |
VACUUM EVAPORATION COATING APPARATUS INCLUDING MEANS FOR PRECLEANING SUBSTRATES BY ION BOMBARDMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3507248(A) |
申请公布日期 |
1970.04.21 |
| 申请号 |
USD3507248 |
申请日期 |
1967.06.15 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
GERARD SEELEY;PAUL A. TOTTA;GEORGE WALD |
| 分类号 |
C23C14/02;C23C14/54;(IPC1-7):C23C13/12 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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