| 发明名称 |
Use of phosphine and arsine compounds in chemical vapor deposition and chemical doping |
| 摘要 |
A MOCVD process for depositing an arsenic-containing film or a phosphorous-containing film utilizing a diprimary phosphine or arsine or an unsaturated hydrocarbon phosphine or arsine.
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| 申请公布号 |
US5120676(A) |
申请公布日期 |
1992.06.09 |
| 申请号 |
US19900498868 |
申请日期 |
1990.03.23 |
| 申请人 |
CVD INCORPORATED |
发明人 |
MELAS, ANDREAS A.;KANJOLIA, RAVI K.;HUI, BEN C. |
| 分类号 |
C23C16/30;C30B25/02 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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