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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR COMPONENT CONTINUOUS MANUFACTURING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH04147632(A)
申请公布日期
1992.05.21
申请号
JP19900271645
申请日期
1990.10.09
申请人
ROHM CO LTD
发明人
YAMAMOTO MASAO;KISHIMOTO NORIKAZU
分类号
H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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