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发明名称 APPARATUS FOR FORMING A THIN FILM
摘要
申请公布号 US5112466(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 US19900597331 申请日期 1990.09.14
申请人 RICOH COMPANY, LTD. 发明人 OHTA, WASABURO;KINOSHITA, MIKIO;KATSURAGAWA, TADAO
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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