发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROSTRICTIVE EFFECT ELEMENT
摘要 Habituellement, on obtient des éléments possédant un effet d'électrostriction selon la procédure suivante. On place dans un bain de placage un corps stratifié dans lequel on choisit parmi ses électrodes internes une électrode sur deux pour la connecter en alternance à l'une des deux électrodes externes qui sont formées sur les faces opposées du corps. Les ions métal contenus dans le bain se déposent alors sur les électrodes internes. Après formation de films isolants, on retire uniquement le matériau isolant qui se trouve sur les métaux qui se sont déposés, jusqu'à ce que que ces métaux déposés soient mis à nus, et on procède ensuite aux opérations de coupe du corps stratifié. Cette procédure comporte toutefois des inconvénients, notamment du fait que la conduction électrique n'est pas assurée en raison de l'oxydation des métaux déposés qui se produit lorsqu'on laisse l'élément à une température élevée. La présente invention permet d'éliminer ces inconvénients. Pour ce faire, des couches à effet d'électrostriction et des électrodes interne sont déposées en strates alternées. Les faces terminales d'une électrode interne sur deux sont mises à nu sur les faces latérales opposées des électrodes externes, respectivement. On forme ensuite les électrodes externes temporaires sur les faces terminales mises à nu des électrodes internes et on forme des saillies métalliques sur les faces terminales des électrodes internes mises à nu au moyen d'un électroplacage utilisant les électrodes externes temporaires comme cathodes. Puis on retire par usinage mécanique ou par toute autre opération similaire les parties comprises entre les saillies métalliques et qui n'ont pas été recouvertes par électroplacage afin de créer des parties évidées, dans lesquelles on forme alors des fils isolants. En retirant les films isolants par polissage en profondeur jusqu'à éliminer les parties saillantes métalliques, on met à nu une électrode interne sur deux ou on met à nu les parties saillantes métalliques. On forme ensuite à ces endroits des
申请公布号 WO9205593(A1) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 WO1991JP01196 申请日期 1991.09.09
申请人 HITACHI METALS, LTD. 发明人 SOMEJI, TAKAHIRO;WATANABE, JUNICHI;WATANABE, YOSHIYUKI;JYOUMURA, SHIGERU;KOJYOU, KATSUHIKO
分类号 H01L41/083;H01L41/293 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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