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发明名称 METHOD FOR CLEANING VAPOR-DEPOSITED METAL IN SEPARATION CELL
摘要
申请公布号 JPH0499864(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900217078 申请日期 1990.08.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHINO SHUICHI
分类号 B01D59/34;B01D59/00;C23C14/00;C23C14/22;C23G5/00 主分类号 B01D59/34
代理机构 代理人
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