发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0491430(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900205652 申请日期 1990.08.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAMURA NAOYOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/28 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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