发明名称 VERTICALLY MOVABLE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0463650(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900174698 申请日期 1990.07.02
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 SATO FUMIAKI;ITO KAZUHIRO;TOMITA YOSHIYUKI
分类号 B23Q1/00;B23Q1/25;B23Q1/72;G12B5/00;H01L21/68 主分类号 B23Q1/00
代理机构 代理人
主权项
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