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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0456154(A)
申请公布日期
1992.02.24
申请号
JP19900165231
申请日期
1990.06.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAMISHIMA KUNITAKA;NAGASEKO JUNICHI;NOMA KAORU;SUEZAKI HIDEAKI
分类号
H01L23/40;H05K7/12
主分类号
H01L23/40
代理机构
代理人
主权项
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