发明名称 METHOD FOR DOPING III-IV COMPOUND SEMICONDUCTOR LAYER WITH CARBON
摘要
申请公布号 JPH0448622(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900156561 申请日期 1990.06.14
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NOMURA YASUHIKO
分类号 H01L21/223;H01L21/22 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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