发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0432143(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900136743 申请日期 1990.05.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO MITSUGI
分类号 H01J37/09;H01J37/12;H01J37/147;H01J37/21;H01J37/26 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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