发明名称 DEVICE FOR GROWING MOLECULAR BEAM CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0431392(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900133449 申请日期 1990.05.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OKADA HIROSHI
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
地址