| 发明名称 |
SCREENING INSPECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03288459(A) |
申请公布日期 |
1991.12.18 |
| 申请号 |
JP19900089145 |
申请日期 |
1990.04.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
USAMI TOSHIRO;MIKATA YUICHI;KAMIJO HIROYUKI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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