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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03280535(A)
申请公布日期
1991.12.11
申请号
JP19900082688
申请日期
1990.03.29
申请人
NEC CORP
发明人
OZAKI JUN
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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