| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PATTERN DEFECT DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03279848(A) |
申请公布日期 |
1991.12.11 |
| 申请号 |
JP19900081626 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
JII TEII SHII:KK |
发明人 |
MORI YUJI;MIKAMI YOSHIAKI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G02F1/13;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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