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发明名称 GETTERING-EFFECT REINFORCED SILICON SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03273639(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900071830 申请日期 1990.03.23
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 HASEBE MASAMI;ISHIZAKA KAZUNORI;NAKASHIZU TSUNEO;SAGA MAKOTO
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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