发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING COPPER OR COPPER ALLOY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03273624(A) |
申请公布日期 |
1991.12.04 |
申请号 |
JP19900214968 |
申请日期 |
1990.08.16 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAZAKI HIROSHI;HONMA YOSHIO |
分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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