| 发明名称 |
FORMATION OF MIRROR FOR SHORT WAVELENGTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03266803(A) |
申请公布日期 |
1991.11.27 |
| 申请号 |
JP19900066298 |
申请日期 |
1990.03.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMADA AKIRA;HASHIMOTO YOICHI |
| 分类号 |
G02B5/08;C23C14/14;C23C14/22;G02B1/10;G02B5/28 |
主分类号 |
G02B5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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