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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HARTSTOFFSCHICHTEN MITTELS VAKUUMBOGENVERDAMPFUNG
摘要
申请公布号
DD296110(A5)
申请公布日期
1991.11.21
申请号
DD19900342189
申请日期
1990.06.28
申请人
TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ BFS,DE
发明人
GLEBOVSKI,VADIM G.,SU;ROTHER,BERND,DE;SIEGEL,JAN,DE
分类号
C23C14/14;C23C14/26;(IPC1-7):C23C14/26
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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