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发明名称 TUNNEL MODULE FOR CREATING A CLEAN SPACE BY THE LAMINAR FLOW TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0340433(A3) 申请公布日期 1991.11.21
申请号 EP19890104834 申请日期 1989.03.17
申请人 BABCOCK-BSH AKTIENGESELLSCHAFT VORMALS BUTTNER-SCHILDE-HAAS AG 发明人 EIDAM, HERBERT;FRANKENBERGER, GERHARD;VELDE, KARL-HEINZ
分类号 E04B1/82;B01L1/04;F24F3/16;F24F7/06;(IPC1-7):F24F3/16 主分类号 E04B1/82
代理机构 代理人
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