| 发明名称 |
LARGE-AREA UNIFORM ELECTRON SOURCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0395752(A4) |
申请公布日期 |
1991.10.30 |
| 申请号 |
EP19900900452 |
申请日期 |
1989.11.14 |
| 申请人 |
ELECTRON VISION CORPORATION |
发明人 |
LIVESAY, WILLIAM, R. |
| 分类号 |
H01J3/02;H01J37/073;H01J37/077;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/077 |
主分类号 |
H01J3/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
