发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03228369(A) 申请公布日期 1991.10.09
申请号 JP19900023682 申请日期 1990.02.02
申请人 NEC CORP 发明人 TANAKA YUUJI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/095 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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