发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03214647(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900010388 申请日期 1990.01.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOUE MASAO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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