发明名称 FAST BACKWARD SEARCHING METHOD FOR WIRING PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH03214263(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900008409 申请日期 1990.01.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OOKI YOSHIE;KAWAMURA KAORU;SHINDO TATSUYA;SHIBUYA TOSHIYUKI;MITO HIDEKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址