| 发明名称 |
GAS PURIFIER FOR RARE-GAS FLUORIDE LASERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0199934(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.21 |
| 申请号 |
EP19860103030 |
申请日期 |
1986.03.07 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
FAN, BUNSEN |
| 分类号 |
H01S3/097;H01S3/036;H01S3/223;H01S3/225 |
主分类号 |
H01S3/097 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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