发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH, HIERMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RELIEFAUFZEICHNUNGEN
摘要
申请公布号 DE4003025(A1) 申请公布日期 1991.08.08
申请号 DE19904003025 申请日期 1990.02.02
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 ELSAESSER, ANDREAS, DIPL.-CHEM. DR., 6270 IDSTEIN, DE;FRASS, HANS WERNER, DIPL.-CHEM. DR., 6200 WIESBADEN, DE;MOHR, DIETER, DIPL.-CHEM. DR., 6501 BUDENHEIM, DE
分类号 G03F7/004;G03F7/023;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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