COMPOSITE COLOR ILLUMINATION METHOD AND BAND LIGHT ILLUMINATION IN A DOUBLE-FOCUS DETECTOR UTILIZING CHROMATIC ABERRATION

摘要

Système de lentille présentant une aberration chromatique sur l'axe d'un détecteur à double foyer qui utilise l'aberration chromatique. Un plan focal du système de lentille se compose d'un plan formant une image lumineuse de courte longueur d'onde correspondant à un premier objet, par exemple un masque, et l'autre plan focal se compose du même plan formant une image lumineuse d'une longueur d'onde présentant une bande déterminée correspondant à un deuxième objet, par exemple une tranche. Le premier objet est illuminé par une lumière d'une longueur d'onde plus courte que 500 nm et le deuxième objet est illuminé dans une bande déterminée de longueurs d'onde supérieures à 500 nm.