发明名称 HOLLOW CATHODE DISCHARGE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03155040(A) 申请公布日期 1991.07.03
申请号 JP19890293089 申请日期 1989.11.10
申请人 HITACHI KOKI CO LTD 发明人 MACHIDA OSAMU
分类号 H01J61/09;H01J61/52 主分类号 H01J61/09
代理机构 代理人
主权项
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