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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03142839(A) 申请公布日期 1991.06.18
申请号 JP19890281278 申请日期 1989.10.27
申请人 NEC CORP 发明人 HONJO MASAO
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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