| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM PLASMACHEMISCHEN AETZEN VON ALUMINIUM UND ALUMINIUMVERBINDUNGEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DD289684(A7) |
申请公布日期 |
1991.05.08 |
| 申请号 |
DD19860296239 |
申请日期 |
1986.11.13 |
| 申请人 |
VEB ZENTRUM FUER FORSCHUNG UND TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONIK,DE |
发明人 |
ZOLLER,MICHAEL,DE |
| 分类号 |
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
