| 发明名称 |
METHOD OF AND DEVICE FOR DETECTING DEFECTIVE OF CIRCUIT PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0385742(A) |
申请公布日期 |
1991.04.10 |
| 申请号 |
JP19890221450 |
申请日期 |
1989.08.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VIDEO ENG CO LTD |
发明人 |
HARA YASUHIKO;KOIZUMI MITSUYOSHI;KITAMURA SHIGEKI |
| 分类号 |
H05K3/00;G01R31/308;G06T7/00;H01L21/66 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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