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发明名称 LASER INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0382941(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890219609 申请日期 1989.08.25
申请人 MITSUBISHI RAYON CO LTD 发明人 KIMURA HIROAKI;TODA MASATOSHI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/93 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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