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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH0382129(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890217297 申请日期 1989.08.25
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 KOBAYASHI NAOKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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