| 发明名称 |
DENSE PLASMA VAPOR DEPOSITION AND ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0368773(A) |
申请公布日期 |
1991.03.25 |
| 申请号 |
JP19900154989 |
申请日期 |
1990.06.13 |
| 申请人 |
PLASMA & MATERIALS TECHNOL INC |
发明人 |
GUREGOO KIYANPUBERU;ROBAATO DABURIYU KOON;SHIYOUJI TATSUO |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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